某科研单位12维高精度电动位移系统

1）⽔平(X向)移动机构

电动调节：  ⽔平X轴⽅向移动范围：0-1000mm X方向精度：0.08mm/200mm；

闭环伺服电机

2）⽔平(Y向)移动机构

电动调节：  ⽔平Y轴⽅向移动范围：0-500mm Y方向精度：0.018mm/100mm;

加装1um Micro E光栅尺 闭环伺服电机

3）⽔平(Z向)移动机构

电动调节：⽔平Z轴⽅向移动范围：0-500mm  Z方向精度： 0.018mm/100mm；

加装1um Micro E光栅尺， 闭环 抱闸 伺服电机。

4）旋转机构

电动旋转调节：X-Z平⾯回转：0°~360°。 θ方向精度：0.008°，加Micro E旋转编码器，闭环伺服电机，精确调整定位和反馈。

5）触摸屏控制器 ：控制方式：触摸屏控制用显示界面操控各轴的实时运动或者远程计算机上位机软件操作控制。

触摸屏控制方式：手控点动、手控连续、手控预设；3套滑动平台的X、Y、Z方向直线位移及θ方向回转角均可采用电控控制，并能在触摸显示屏上显示各轴的当前坐标位置。

触摸屏控制器是通过触摸屏显示操作，界面上操控各轴的实时运动，显示界面设置参数等。

配光学平台作为基座隔振基础，台面配备十二维（3套独立XYZ旋转机构）高精度 光栅定位 伺服驱动  整体配合精密，实现多维运动，定向调节，精度高，支持多种汇编语言编程，程序调用控制。